Пасьля захопу земляў ВКЛ Расейскай Імпэрыяй, у к. 18 — 19 ст. адбываліся тэрытар’яльна-адміністрацыйныя зьмены. На тэрыторыі, якая склала Віленскую губ., яны былі гэткія:

1794.10.30 — акупаваная тэрыторыя ВКЛ падзелена на 3 часткі: Віленскую, Гарадзенскую й Ковенскую.
Практычна гэткага тэрытар’яльнага падзелу не было, існаваў дзеля стратэгічнага кіраваньня войскам;
1795.12.14 — утворана Віленская губерня, без падзелаў на паветы;
1796.08.08 — Віленскае намесьніцтва: Ашмянскі, Браслаўскі (цэнтар — г. Відзы), Віленскі, Вілкамірскі, Завілейскі, Ковенскі, Расіёнскі, Троцкі, Тэльшаўскі, Упіцкі й Шавельскі паветы;
1796.11.11 — Літоўская губерня (цэнтар — Вільня): Ашмянскі, Берасьцейскі, Браслаўскі, Ваўкавыскі, Віленскі, Вілкамірскі, Гарадзенскі, Завілейскі, Кобрынскі, Ковенскі, Лідзкі, Наваградзкі, Пружанскі, Расіёнскі, Слонімскі, Троцкі, Тэльшаўскі, Упіцкі, Шавельскі паветы;
1801.09.09 — Віленская губерня: Ашмянскі, Браслаўскі, Віленскі, Вілкамірскі, Завілейскі, Ковенскі, Расіёнскі, Троцкі, Тэльшаўскі, Ўпіцкі і Шавельскі паветы;
1802 — Ашмянскі павет перададзены ў 1802 г. у Гарадзенскую губ., вернуты ў 1803 (?);
1836 — цэнтар Браслаўскага пав. перанесены зь Відзаў у Езяросы, якія перайменаваныя ў Новааляксандраўск, адпаведна перайменаваны і павет;
1843 — Віленская губэрня: Ашмянскі, Віленскі, Вілейскі, Дзісенскі, Лідзкі, Сьвянцянскі і Троцкі паветы.
Зь Віленскай губ. вылучана 7 паветаў і ўтворана Ковенская губ. У Віленскую губ. перададзены Лідзкі павет з Гарадзенскай губ., Вілейскі і Дзісенскі паветы з Менскай губ. Замест Завілейскага пав. ўтвораны Сьвенцянскі.

АШМЯНСКІ ПАВЕТ.

ВІЛЕЙСКІ ПАВЕТ.

ВІЛЕНСКІ ПАВЕТ.

ДЗІСЕНСКІ ПАВЕТ.

ЛІДЗКІ ПАВЕТ.

СЬВЯНЦЯНСКІ ПАВЕТ.

ТРОЦКІ ПАВЕТ.